儀器特點(diǎn)：
激光平整度測量儀QVS 系列 是由我公司最新研發(fā)的平整度測量儀，全自動(dòng)影像儀加激光檢測，實(shí)現(xiàn)平整度檢測先進(jìn)功能。采用進(jìn)口精密配件為提高測量儀工作狀態(tài)時(shí)的精確度及穩(wěn)定性提供有力保證！該龍門型影像測量儀主要運(yùn)用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、絕級(jí)材料等。
● 高精度大理石基座、橫梁保證極高的穩(wěn)定性及剛性。
● 小龍門移動(dòng)式架構(gòu)即工作臺(tái)載物玻璃不動(dòng)，可獲得更高的速度而不影響測量。
● 精密研磨級(jí)滾珠螺桿和日本THK精密線性導(dǎo)軌，配日本安川伺服馬達(dá)采用雙重閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，具有高速精確的定位以及運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性。
● 配SONY高分辨率彩色攝像機(jī)，采用我公司自主研發(fā)的表面冷光源，表面光由獨(dú)立四十八組光源組成，每一組均為恒流源驅(qū)動(dòng)，連續(xù)可調(diào)，保證高品質(zhì)的測量畫面。
● 測量系統(tǒng)采用進(jìn)口開放式英國RENISHAW精密光學(xué)尺，分辨率為0.5um。
● 采用我公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機(jī)，提高了電機(jī)響應(yīng)速度，還簡化了儀器與PC機(jī)的接口，PC機(jī)與儀器通過USB線和S端子線連接。
● 自動(dòng)連續(xù)變倍鏡頭，自動(dòng)變倍后無需人工重新進(jìn)行精度校驗(yàn)。
● 影像導(dǎo)航系統(tǒng)讓你快速定位工件測量位置，大幅提高測量效率。
● 配我公司專用全自動(dòng)測量軟件Quickmeasuring，可編程自動(dòng)檢測，大大提高測量效率。
● LK 感測頭，應(yīng)用半導(dǎo)體測量硅芯片的厚度，電子測量超薄HDD的偏擺，LCD控制調(diào)合器的高度，超精度 - LK-G10系列超精度傳感器，重復(fù)精度高達(dá)1μm，測量傳感器>激光位移傳感器
| 儀器型號(hào) | QVS3020CNC | QVS4030CNC | QVS5040CNC |
| 工作臺(tái) | 運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 300x200x200 | 400x300x200 | 500x400x200 |
| 外形尺寸(mm) | 866x740x1750 | 1740x1066x1750 | 1116x940x1760 |
| 儀器重量(kg) | 360 | 400 | 520 |
| 承重(kg) | 35 | 35 | 30 |
| 測量精度 | XY軸 | <=(3+L/200)um |
| Z軸 | <=(4+L/200)um |
| 光柵尺 | 進(jìn)口開放式光柵尺，分辨率0.5um |
| CCD | SONY彩色攝像機(jī) |
| 光學(xué)系統(tǒng) | 自動(dòng)變倍鏡頭；選配激光，測量透明式玻璃的厚度和平整度 |
| 照明系統(tǒng) | 連續(xù)可調(diào)式LED環(huán)形表面光及輪廓光，根據(jù)放大倍率確定最大光強(qiáng) |
| 軟件系統(tǒng) | QuickMeasuring 全自動(dòng)影像測量軟件 |
| 工作環(huán)境 | 20 ℃ ± 3 ℃，溫度45～75% |
| 電源 | 220V ± 10% ，50Hz |
