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    原理：三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x可定義為：一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào)，三個(gè)軸之位移量測(cè)系統(tǒng)(如光學(xué)尺)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)(x,y,z)及各項(xiàng)功能量測(cè)的儀器。其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測(cè)系統(tǒng)俗稱光學(xué)尺，其光源經(jīng)過瞄準(zhǔn)透鏡而投射到游動(dòng)刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號(hào)之原理，由光電管接收其信號(hào)，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號(hào)情形。