型號(hào)(Model) | Fetura2000（H）(A) | Fetura3000（H）(A) | Fetura5000（H）(A) | Fetura8000（H）(A) |
| 測(cè)量范圍(mm) | X | 200 | 300 | 500 | 800 |
| Y | 200 | 300 | 500 | 800 |
| Z | 200 | 250 |
| 技術(shù)指標(biāo)Technical Features |
| 影像攝取系統(tǒng) | SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera | 德制1394接口，數(shù)字式1/2"高分辨率彩色CCD，最高達(dá)到每秒80幅顯示頻率 |
| 分辨率 | 0.1um |
| 重復(fù)精度 | X、Y=1.3um；Z=2.5um | （H）X、Y=1.3um | X、Y=1.3um；Z=2.5um | （H）X、Y、Z=2.0um |
| 測(cè)量精度 | U1 x、y = (1.5+L/333)um
Advance：U1 x、y = (1.0+L/333)um | U1 x、y = (2.0+L/333)um
Advance：U1 x、y = (1.0+L/333)um |
U1 z = (3.0+L/250)um
Advance：U1 z = (2.0+L/250)um | U1 z = (3.0+L/250)um
Advance：U1 z = (1.5+L/250)um |
U2 x、y = (2.0+L/250)um
Advance：U2 x、y = (1.5+L/250)um | U2 x、y = (2.5+L/250)um
Advance：U2 x、y = (1.5+L/250)um |
| 光源照明系統(tǒng) | 同軸光（黃色LED）
輪廓光（黃色LED)
環(huán)光（黃色8向16位） | 同軸光（2組白色LED，含圖案對(duì)焦光學(xué)片及機(jī)構(gòu)）
輪廓光（白色LED)
環(huán)光（白色7向14位附彩色CCD） |
| 雷射激光系統(tǒng) | Keyence LKG30 光點(diǎn)理論直徑：30um 工作范圍：±4.5um 參照距離：30mm 光波長(zhǎng)度：650nm |
| CCD兩種對(duì)焦模式 | 快速對(duì)焦（約1.5秒）& 高精度對(duì)焦 |
| 雷射對(duì)焦 | 單點(diǎn)對(duì)焦/掃描對(duì)焦 |
縮放倍率
(2*3段同軸Zoom) | 1X物鏡 | 25X 50X 100X (分辨率：1280X1024 17") |
| 2X物鏡 | 50X 100X 200X (分辨率：1280X1024 17") |
| 焦距/工作范圍 | 1X物鏡 | 92mm/81~93mm |
| 2X物鏡 | 36mm/34~37mm |
| 機(jī)器特征Machine Features |
| 機(jī)器型式 | 花崗巖床臺(tái)固定橋式 |
| 機(jī)器重量（凈重/毛重） | 590kg/660kg | 710kg/810kg | 1080kg/1230kg | 2120kg/2320kg |
| 最大載荷 | 30kg |
| 最高運(yùn)行速度 | X、Y=200mm/s Z=100mm/s | X、Y=300mm/s Z=200mm/s |
| 最高加速度 | 1000mm/s2 |
| 系統(tǒng)特征System Features |
| 控制系統(tǒng) | 全自動(dòng)CNC控制系統(tǒng) |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 四軸程控：三軸交流伺服馬達(dá)全閉回路控制，高精密級(jí)線(xiàn)性滑軌與預(yù)壓滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)，步進(jìn)馬達(dá)Zoom同軸控制鏡頭組 |
| 軟件配置 | 標(biāo)準(zhǔn) | PowerMetrix 3.0 |
| 選配 | 制程統(tǒng)計(jì)管制SPC模塊（網(wǎng)絡(luò)版）；QV、VMS程序轉(zhuǎn)換系統(tǒng)PowerMetrix離線(xiàn)版；3D型狀誤差動(dòng)態(tài)分析軟件；CAD整合型報(bào)表；精密測(cè)量操作系統(tǒng)等 |
| 操作系統(tǒng) | Windows XP |
| 外部工作環(huán)境Operating Environment |
| 電源 | 220V 50～60HZ >10A |
| 功率 | 1.5KW | 2.0KW |
| 溫度范圍 | 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m |
| 濕度范圍 | 40%~70% |
| 電腦配置 | 可選（實(shí)際出貨以報(bào)價(jià)單為準(zhǔn)） |
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