JT-PRB白光干涉三維形貌儀
【產(chǎn)品簡介】
JT-PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外最先進的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統(tǒng)和自主專利的解析算法，進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的完美結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測量結(jié)果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。
標準配置采用六軸手動調(diào)整的載物平臺，可依據(jù)不同測試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動載物平臺，以實現(xiàn)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。
【系統(tǒng)構(gòu)成】
☆ 光學照明系統(tǒng) 采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm
☆ 光學成像系統(tǒng) 采用無限遠光學成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成
☆ 垂直掃描系統(tǒng) 采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動顯微物鏡垂直移動、移動范圍0-500μm、位置移動精度 0.1nm
☆ 信號處理系統(tǒng) 計算機和數(shù)字信號協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用專用數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析
【工作原理】
白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
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